Micro-Epsilon do svého portfolia zařadila interferometr s bílým světlem pro vysoce přesnou kontrolu křemíkových waferů, kapacitní vysokoteplotní senzory do 800 °C, výkonný laserový snímač s rozlišením 0,1 mm do vzdálenosti až 150 m pro průmyslové aplikace a konfokální chromatický senzorový systém s rozlišením 8 nm.