IMS5420-TH - Interferometr s bílým světlem pro vysoce přesnou kontrolu křemíkových waferů

IMS5420 je vysoce výkonný interferometr s bílým světlem pro bezkontaktní měření tloušťky monokrystalických křemíkových waferů. Interferometr má širokopásmovou superluminiscenční diodu (SLED) s rozsahem vlnových délek 1 100 nm. To umožňuje měření tloušťky nedopovaných, dopovaných a vysoce dopovaných křemíkových waferů pouze jedním měřicím systémem. IMS5420 dosahuje stability signálu menší než 1 nm. Tloušťku lze měřit ze vzdálenosti 24 mm.

Vlastnosti:

• Nanometrově přesné měření tloušťky nedopovaných, dopovaných a vysoce dopovaných waferů
• Multi-peak: pořízení až 5 vrstev s tloušťkou SI 0,05 až 1,05 mm
• Vysoké rozlišení v ose z 1 nm
• Rychlost měření až 6 kHz pro rychlé měření
• Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
• Snadná parametrizace přes webové rozhraní

Interferometr IMS5420 umožňuje měření tloušťky nedopovaných, dopovaných a vysoce dopovaných křemíkových plátků a nabízí tak širokou škálu aplikací. Tento systém pro měření tloušťky destiček je ideální pro měření monokrystalických křemíkových destiček s geometrickou tloušťkou 500 až 1050 µm a dotováním až 6 m Ω cm. I u vysoce dopovaných plátků lze měřit tloušťky až 0,8 mm. Vyplývá to z klesající transparentnosti s rostoucím dopingem.

Více informací naleznete na https://www.micro-epsilon.com/distance-sensors/interferometers/5420-th/

CapaNCDT 6228 - Kapacitní vysokoteplotní senzory do 800 °C

Kapacitní senzorový systém capaNCDT 6228 je určen pro měřicí aplikace s okolní teplotou do +800 °C. Lze připojit současně až čtyři vysokoteplotní senzory řady CSE/HT. Integrovaný kabel vysokoteplotního senzoru kompenzuje rušení elektrickými nebo magnetickými poli. Kromě toho jsou naměřená data přenášena analogově i digitálně přes rozhraní Ethernet nebo EtherCAT.

Vlastnosti:

• Přesné měření vzdálenosti při extrémních teplotách okolí od -50 °C do 800 °C
• Rozlišení od 10 nm Frekvenční odezva 1 kHz (-3 dB)
• Analogový výstup 0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
• Digitální rozhraní: Ethernet (s kontrolérem DT6228) / Ethernet a EtherCAT (s kontrolérem DT6238)
• Až 4 měřicí kanály na ovladač
• Synchronizace více než 4 měřicích kanálů s regulátorem DT6238

CapaNCDT 6228 slouží mimo jiné k měření tloušťky žhavých brzdových kotoučů ze dvou stran a ke sledování hladiny plaveného skla. Mimořádně dobrá teplotní stabilita navíc umožňuje vysokou přesnost měření.

Více informací naleznete na https://www.micro-epsilon.cz/distance-sensors/capacitive-sensors/capancdt-6228/

OptoNCDT ILR2250 - Výkonný laserový snímač vzdálenosti pro průmyslové aplikace

Laserový snímač vzdálenosti optoNCDT ILR2250-100 je určen k přesnému měření vzdálenosti v průmyslovém prostředí. Pokud je k měřenému objektu připevněn reflektor, tak je možné měřit na vzdálenost až 150 m. Bez reflektoru zvládne senzor měřit do 100 m. Integrovaný režim měření AUTO umožňuje spolehlivé měření i na tmavých, částečně reflexních a vzdálených objektech. Proto lze senzory ILR2250 použít pro měření vzdálenosti na mnoha površích.

Vlastnosti:

• Velký měřící rozsah až 100 m (až 150 m s reflektorem)
• Vysoká přesnost a stabilita signálu
• Linearita ±1 mm
• Rozlišení 0,1 mm
• Opakovatelnost 300 µm
• Analogový výstup a digitální rozhraní (RS422 / USB / PROFINET/ Ethernet/IP / IO-Link)
• Kompaktní a lehký design
• Ideální pro průmyslové aplikace

Více informací naleznete na https://www.micro-epsilon.cz/distance-sensors/laser-distance-sensors/optoncdt-ilr2250/

ConfocalDT IFD2410/2415 - Konfokální chromatický senzorový systém nové generace

ConfocalDT IFD2415 a IFD2410 jsou výkonné konfokální senzory s integrovaným ovladačem a krytím IP65. IFD2410 a IFD2415 ideální pro vysoce přesné měření vzdálenosti a tloušťky v průmyslu. Kromě toho lze IFD2415 použít s průhlednými materiály pro vícevrstvé měření tloušťky až 5 vrstev. Aktivní regulace expozičního času řady CCD umožňuje rychlé a stabilní měření různých povrchů i v dynamických procesech až do 25 kHz. Měřicí systém se také vyznačuje vysokou svítivostí, která umožňuje rychlé a spolehlivé měření i na tmavých plochách.

Vlastnosti:

• Rozsahy měření (mm): 1 | 3 | 6 | 10
• Nastavitelná rychlost měření až do 25 kHz
• Rozlišení od 8 nm
• Linearita od 0,25 µm
• Pro přesné měření vzdálenosti a tloušťky až 5 vrstev
• Vše v jednom: snímač a ovladač v jednom kompaktním pouzdře
• Snadná integrace, protože nejsou potřeba optická vlákna
• Robustní hliníkové pouzdro IP65
• Přímé připojení PLC díky průmyslovému Ethernetu
• Ideální pro sériové aplikace

Nyní s integrovaným rozhraním Industrial Ethernet

Integrované průmyslové Ethernetové rozhraní EtherCAT umožňuje, aby senzory IFD2410/2415 byly přímo integrovány do PLC bez dalšího modulu rozhraní. Získáte data v reálném čase bez časové prodlevy, stejně jako snížení nákladů na instalaci a kabeláž. Snímač se parametrizuje v režimu Ethernet přes intuitivní webové rozhraní.

Více informací naleznete na https://www.micro-epsilon.cz/distance-sensors/confocal-sensors/confocaldt-ifd2410-2415/

Micro-Epsilon představí své novinky také na veletrhu AMPER 2024. Veletrh AMPER 2024 s podtitulem Smart&Connected World se zaměří na chytré technologie. Tématy budou mimo jiné elektroenergetika, fotovoltaika, elektroinstalace, systémy řízení a zabezpečení budov, osvětlovací technika, pohony a napájení, elektromobilita nebo smart city. Navštivte Brno 19.-21.3. 2024. www.amper.cz